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반도체 메모리 제조에서의 에너지 절감 - “Furnace”를 위한 최첨단 기술
2024년 9월 20일
지구 온난화로 인한 기후 변화는 생태계와 우리의 삶에 상당한 영향을 미치며 심각한 글로벌 문제를 야기합니다. Kioxia Group은 기후 변화에 대처하는 이니셔티브를 관리 우선순위 중 하나로 취급하며, 이러한 우선순위 영역을 “지속 가능성 중요성”이라고 부릅니다. 우리는 글로벌 운영 전반에 걸쳐 FY2050까지 Scope1 온실가스 배출량(사업장으로부터의 직접 배출) 및 Scope2 배출량(구매 에너지 사용으로 인한 간접 배출)을 달성한다는 목표를 설정했습니다. 이러한 노력의 일환으로, 우리는 온실가스 배출량과 운영에 사용되는 에너지의 양을 줄이기 위해 에너지 절약 제조 장비를 적극적으로 개발하고 구현하고 있습니다.
열처리 공정의 전력 소비를 철저히 분석하고 개선 기회 파악
반도체 메모리 제조에서 웨이퍼의 열처리는 품질을 보장하는 핵심 공정입니다. Kioxia는 반도체 제조 장비 공급업체와 협력하여 가열 공정을 제어하는 furnaces*1에 최신 에너지 절약 기술을 적용하고 2010년대 후반부터 도입했습니다. 퍼니스에서는 웨이퍼를 퍼니스에 로딩하고 가열, 냉각 및 퍼니스에서 하역하는 과정을 반복합니다. 이 일련의 공정에서 전력 소비 분석을 수행하여 웨이퍼의 가열 및 냉각 곡선을 최적화했습니다. 또한, 에너지 절약형 히터 채택 및 단열재 개선과 같은 에너지 절약 기술을 평가하고 구현했습니다.
이러한 노력은 기존 장비에 비해 웨이퍼당 전력 소비를 절반으로 줄여 FY2023에 연간 3억 kWh 이상의 에너지 절감 효과를 거두었습니다. 이러한 감소는 약 72,000 가구 또는 요카이치 공장이 위치한 요카이치 시*2의 가구 절반이 연간 소비하는 전기량과 동일합니다. 또한, 이로 인해 매년 약 120,000톤의 이산화탄소 배출량이 감소하여 지구 온난화를 예방할 수 있게 되었습니다.
우리는 가치 사슬 전반에 걸쳐 환경에 미치는 영향을 최소화하기 위해 다양한 공급업체와의 협력을 지속적으로 강화할 것입니다. 그리고 우리는 미래에 귀중한 자원을 인계받고 지속 가능한 사회의 실현에 기여하는 것을 목표로 합니다.
- 퍼니스란 메모리 제조 공정에 사용되는 고온 가열 공정을 제어하는 제조 장비입니다. 석영 튜브와 히터로 구성되어 있습니다. 가스 제어 기술이 사용되어 웨이퍼의 산화, 증착, 확산 및 결정 성장과 같은 공정에 고온의 균일한 가열을 가능하게 합니다.
- 자체 조사 기준(2024년 8월 기준)
